由于石墨具有很好的耐高温性和化学不活泼性,所以在高温炉中制取高纯半导体材料时使用鳞片石墨中的高纯石墨特别有利,如在生产高纯堵时,在还原炉中使用石墨舟等等。今天恒胜石墨小编就为大家讲讲鳞片石墨是半导体材料生产的重要原料:
鳞片石墨和普通石墨的生产工艺大体相同,但有如下一些特点。
1、必须选择灰分含量很低的原料,如用石油焦为原料时,石油焦的灰分含量应不大于0.15%。
2、可以用挤压成型,也可以用模压成型,一般加工成各种异形器件的细颗粒结构高纯石墨用模压成型比较多,还可以用等静压工艺成型。
3、高纯石墨提高纯度的关键工序是石墨化,石墨化的温度要高于生产普通石墨电极的温度。
4、高纯石墨在进行机械加工时,表面会沾上一些杂质,视工作环境以及加工工艺的不同,沾污的程度不同。为了去掉表面沾污,可以在加工后置入石墨坩埚内,再次放入石墨化炉中提纯。
5、在某些场合对高纯石墨器件表面的灰尘可以用超声波振荡方法去除。对残留在气孔中的杂质气体可以用高温抽真空的方法去除。
6、某些高纯石墨器件需要在表面涂上一层热解石墨,涂上热解石墨可以提高抗氧化性能。
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